摘要：先进集成电路制造作为支撑数字经济、高端装备、人工智能、通信技术以及智能终端发展的核心基础产业，其工艺创新能力与产业协同水平直接决定着未来科技竞争格局。面向先进集成电路制造的关键工艺创新与产业发展...
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摘要：先进集成电路制造作为支撑数字经济、高端装备、人工智能、通信技术以及智能终端发展的核心基础产业，其工艺创新能力与产业协同水平直接决定着未来科技竞争格局。面向先进集成电路制造的关键工艺创新与产业发展...
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